製品情報

R&D向け露光装置 : TME-150R

大手FPD部材メーカに多数の導入実績
R&Dに最適な業界スタンダード機

R&D向け露光装置

  • 製品概要
  • 製品特長
  • 詳細仕様

製品概要

TME-150Rは、主にフラットパネルディスプレイ(FPD)を構成する部材の研究開発用向けに、最適な性能・機能を特化したマニュアル露光装置です。特に液晶ディスプレイの画質を左右する、レジスト材料の評価においては大手メーカに多数の実績を誇り、20年以上に亘り業界のディファクトスタンダードの地位を築いています。
本装置は、省スペース・低価格でありながら、ハイエンド露光装置同等の光学性能を誇り、お客様における最先端の製品開発をサポートします。

製品特長

特長

■ 高い解像性能

高性能光学系と高精度なメカニカル制御により、L/S7μmの高い解像力(50μmギャップ設定時)を達成。

■ 豊富なオプション

様々なFPD部材評価に対する長年のノウハウをオプション化。お客様の研究開発用途に最適な
システムの構築が可能。

■ 省フットプリント

長年蓄積された光学技術をベースに、高精度でコンパクトな光学系の採用により、省フットプリント化を実現。
 

主な納入実績

►半導体、液晶用カラーレジスト製造メーカ
►LCDパネル製造メーカ
►LCDカラーフィルター製造メーカ
►タッチパネル製造メーカ
►有機ELパネル製造メーカ
►LEDチップ製造メーカ
►半導体パワーデバイス製造メーカ

詳細仕様

主な仕様

対応ワークサイズ
Φ50~Φ200mm または □40~150mm
ワーク厚さ
0.5~1.1mm
ワーク形態
シリコンウェーハ または ガラス *ガラスは液晶グレード
マスクサイズ
ワークサイズ+50mm、厚さ2.3+0.1mm
露光範囲
Φ150mm
露光照度
38mW/cm2(i線 λ=365nm)、当社仕様 1kW 超高圧水銀ランプ
照度ムラ
±5.0%以下
解像力
L/S:7μm *プロキシミティギャップ50μm設定時
ギャップ設定範囲
50~999μm
装置サイズ W×D×H
1,800×1,200×1,900mm
装置重量
 約600kg

 

主なオプション

■バンドパスフィルター : i線/h線/g線、その他303nm、313nm、334nm
■NDフィルター                : 50~80%
■偏光可変機構
■多種ランプ対応           : 2kW / 3.5kW / 5.0kW
■ソフトコンタクト露光機能
■多重露光機能