製品情報

プロトライン向け露光装置 : TME-400R

R&D用途から、小ロット生産にも対応可能な
多目的露光装置

プロトライン向け露光装置

  • 製品概要
  • 製品特長
  • 詳細仕様

製品概要

TME-400Rは、100×100mmから、300×400mmまでのワークサイズに適合し、主にフラットパネルディスプレイ(FPD)を構成する部材の研究開発用途から、小規模の生産ライン用途まで対応可能な、多目的タイプの露光装置です。 ワーク搬送ロボットシステムを連結することで、半自動の露光工程システムを構築することができ、多品種少ロット生産への対応も可能です。
液晶パネルの創世記から25年以上に亘り、大手ディスプレイパネル製造メーカ様を中心に量産用途向け露光装置を供給してきたノウハウをコンパクトに凝縮しています。

製品特長

特長

■ 高い解像性能

高性能光学系と高精度なメカニカル制御により、L/S7μmの高い解像力(50μmギャップ設定時)を達成。

■ 豊富なオプション

様々なFPD部材評価に対する長年のノウハウをオプション化。お客様の用途に最適なシステム構築が可能。

■ 省フットプリント

長年蓄積された光学技術をベースに、高精度でコンパクトな光学系の採用により、省フットプリント化を実現。
 

主な納入実績

►半導体、液晶用カラーレジスト製造メーカ
►LCDパネル製造メーカ
►LCDカラーフィルター製造メーカ
►タッチパネル製造メーカ
►有機ELパネル製造メーカ
►LEDチップ製造メーカ
►半導体パワーデバイス製造メーカ

詳細仕様

主な仕様

対応ワークサイズ
□100~300×400mm
ワーク厚さ
0.5 / 0.7 / 1.1mm
ワーク形態
ガラス *液晶グレード
マスクサイズ
ワークサイズ+50mm、厚さ2.0+0.1mm
露光範囲
300×400mm
露光照度
16mW/cm2 (i線λ=365nm)   当社仕様2kW 超高圧水銀ランプ
照度ムラ
±5.0%以下
解像力
L/S:7μm ±1.5μm *プロキシミティギャップ50μm設定時
ギャップ設定範囲
50~500μm
装置サイズ W×D×H
2,020×1,820×1,950mm
装置重量
 約1,000kg

 

主なオプション

■バンドパスフィルター : i線/h線/g線、その他303nm、313nm、334nm
■NDフィルター                : 50~80%
■偏光可変機構
■アライメント機構   :マニュアル or オート
■多種ランプ対応           : 2kW / 3.5kW / 5.0kW
■ソフトコンタクト露光機能
■多重露光機能
■防振架台
■ワーク搬送ロボット