製品情報

ウェーハ表面検査装置(12インチ対応) : WM-10

世界初のViolet LDを搭載した、
業界最高水準の低価格機

ウェーハ表面検査装置(12インチ対応)

  • 製品概要
  • 製品特長
  • 詳細仕様

製品概要

ウェーハ表面検査装置WM-10は、6~8インチ又は8~12インチウェーハに対応し、ベア(Bare)シリコンウェーハ上48nmの高感度でのパーティクル測定が可能です。 光源に世界初のViolet(青紫色半導体)レーザを搭載し、65~90nmプロセスノードに最適な性能と圧倒的なコストパフォーマンスを誇るハイエンド機種です。

製品特長

■ 65~90nmプロセスノード量産・試作に最適な、最高検出感度48nmを達成

■ 世界初の高出力Violet-LD採用により、ランニングコストの大幅低減を実現

■ 業界最速クラスのスループット

■ 業界最小クラスの少フットプリント(12インチ対応機)

■ 2軸光学系搭載により、マイクロスクラッチ(微小欠陥)の欠陥分離が可能

■ 自動感度補正機能、COP分離、FOUP等、様々なオプションを用意

詳細仕様

主な仕様

  ► 光源  Violet LD (青紫色半導体レーザ)
  ► 検出/走査方式  散乱光検出 / 螺旋走査方式
  ► 最高検出感度  48nm  *ベア(Bare)ウェーハ
  ► 再現性  σ/X ≦ 1%  *99%以上
  ► 検査対象  ベアウェーハ、 膜付きウェーハ
 対応ウェーハサイズ  12/8インチ、又は8/6インチ
 装置寸法 W×D×H  1,482×1,173×1,950mm
 重量  900kg

 

主なオプション

 ■ 自動感度補正機能
 ■ ヘイズ(Haze)測定機能
 ■ マップ重ね合わせ機能
 ■ ダブルウェーハポート
 ■ 4インチウェーハ搬送
 ■ XY座標出力ソフト(通信)
 ■ 上位通信ソフト