製品情報

ウェーハ表面検査装置(ガラス/透明ウェーハ対応) : WM-7SG

ガラス・透明ウェーハ等、様々な素材に対応
8インチ以下の量産・研究開発用に最適

ウェーハ表面検査装置(ガラス/透明ウェーハ対応)

  • 製品概要
  • 製品特長
  • 詳細仕様

製品概要

30年以上に亘り、半導体ウェーハ表面検査工程での実績を誇る、当社ベストセラー機のアップグレードタイプ。 同シリーズであるWM-7Sのオリジナル光学系を改良、従来のベア(Bare)シリコンウェーハや成膜用ウェーハの検査に加え、ガラスウェーハや各種透明ウェーハにも対応しました。 WM-7と同じく光源に業界初のViolet(青紫色半導体)LDを搭載し、低ランニングコストを実現、2インチから8インチウェーハまで対応した、量 産・試作工程だけでなく、R&D向けにも最適なローコスト・ハイパフォーマンス機種です。

製品特長

主な特長

• 各種化合物半導体で使用される透明系ウェーハやガラスウェーハ
• 世界初のViolet LD(青紫色半導体レーザ)搭載により、ランニングコストの大幅低減を達成
• 高性能・低価格・簡単操作・省スペースを実現
• 多様なウェーハサイズに対応し、量産工程からR&D部門まで幅広く対応
• リアルカウント処理による、高確度のパーティクル情報を提供
• 豊富なオプション機能

 

主な活用例

° ウェーハ(サファイヤウェーハ含む)製造メーカの出荷検査
° 半導体製造工程の管理
° 各種半導体製造装置管理・評価
° クリーンルームの環境管理

詳細仕様

主な仕様


 ► 光源  Violet LD (青紫色半導体レーザ)
 ► 検出/走査方式  螺旋走査方式
 ► 最高検出感度  80nm *ベア(Bare)ウェーハ
 ► 検査再現性  σ/X ≦ 1%  *99%以上
 ► 測定対象  ベア(Bare)ウェーハ、 膜付きウェーハ
 ► ウェーハサイズ  2インチ ~ 8インチ
 ► 装置寸法 W×D×H  800×900×1,650mm
 ► 装置重量  600kg


主なオプション

• 自動感度補正機能
• ヘイズ(Haze)測定機能
• 高感度モード
• マップ重ね合わせ機能
• XY座標出力ソフト(通信)
• 上位通信ソフト