サポート

検査装置 保守

検査装置 サービスのご案内

当社は、お客様に納入させていただいた、製品の性能維持・保守・改善をサポートするために、装置の定期点検・移設・改造等の各種サービスや、消耗品・パーツの販売を行っております。
ご使用されている製品について、不明な点やご相談・ご要望などございましたら、下記サービス窓口までお問合せ下さい。

【サービス項目】       
• 定期メンテナンス
• 修理・診断
• 部品・消耗品販売
• 装置改造・移設
• トレーニング
 
     
【対象機種】  
► チップ外観検査装置
:Viシリーズ
► ウェーハ表面検査装置
:WMシリーズ
 

【お問合せ先】

    トプコンテクノハウス     検査装置サービスグループ
             TEL : 03-3558-2885  /  FAX: 03-3558-3011

                         ( 受付時間 9:00 - 17:00  *当社営業日 )

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