製品概要
工業用UVチェッカーUVR-T1は、電気・電子部品用のシーリングや接着処理、プリント基板の印刷・乾燥・実装ライン、各種産業における殺菌工程等で使用されるUV照射装置のランプ出力管理に最適です。
本器の測定結果に基づき、コンベア速度やランプ強度分布・交換時期の管理に使用することにより、お客様の歩留まり向上が図れます。
また、半導体、FPD、プリント基板等のフォトリソ工程で使用される、露光装置のランプ管理にも使用が可能です。
特長
￭ メタルボディの耐熱構造により安定した測定が可能（防熱カバー付き）
￭ 多種測定機能搭載 ： リアルタイム照度測定、ピーク値測定、積算光量測定、偏差測定
￭ 延長ユニット（オプション）装着により、離れた場所に受光部をセットしての測定が可能
￭ 内蔵メモリ、RS-232C出力、アナログ出力を標準装備
主な用途
￭ 各種UV照射装置 UVランプ保守・管理 • 露光装置
￭ 紫外線消毒装置、殺菌装置、改質装置
￭ 紫外線硬化装置、洗浄装置
￭ 紫外線表面処理装置
￭ 各種UVランプ開発部門、製造工程における検査・評価
主な仕様
| 仕様項目 | 仕様値 | ||
|---|---|---|---|
| UD-T25 | UD-T36 | UD-T40 | |
| 受光素子 | シリコンフォトダイオード | ||
| 受光窓径 | φ5mm | φ3mm | φ3mm |
| 測定波長域 | 230 ～ 280nm | 300 ～ 390nm | 350 ～ 490nm |
| ピーク感度波長 | 約255nm | 約355nm | 約410nm |
| 照度測定範囲(mW/cm2) | Range1： 0.01～30.0 Range2： 0.1～300.0 Range3： 1.0～3000.0 |
Range1： 0.02～60.0 Range2： 0.2～600.0 Range3： 2.0～6000.0 |
Range1： 0.01～30.0 Range2： 0.1～300.0 Range3： 1.0～3000.0 |
| 積算光量測定範囲(mJ/cm2) | Range1： 0.01～999.99 Range2： 0.1～9999.9 Range3： 1.0～99999.0 |
Range1： 0.02～999.99 Range2： 0.2～9999.9 Range3： 2.0～99999.0 |
Range1： 0.01～999.99 Range2： 0.1～9999.9 Range3： 1.0～99999.0 |
| アナログ出力1mVの放射照度(mJ/ cm2) | Range1： 0.015 Range2： 0.15 Range3： 1.5 |
Range1： 0.03 Range2： 0.3 Range3： 3.0 |
Range1： 0.015 Range2： 0.15 Range3： 1.5 |
| データサンプリング | ￭ サンプリング時間 50Hz ： 10ms、 60Hz ： 8.33ms ￭ サンプリングレート 50Hz ： 50回/秒 60Hz ： 60回/秒 |
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| 斜入射光特性 | 30° ： ±5%以内、 60° ： ±25%以内 | ||
| 校正精度(*1) | ±2%以内 | ||
| 直線性(*2) | ±6%以内 | ||
| アナログ信号出力 | 0～2V | ||
| インターフェース | RS-232C | ||
| 電源 | 単4乾電池×4 | ||
| 使用条件 | 温度 ： 10～60 ℃ / 湿度 ： 85% R.H.以下 （結露なきこと） | ||
| 外形寸法(W×D×H) (*3) | 75×202×16mm | ||
| 質量(*3)(*4) | 350g | ||
(*1) 当社校正光源における校正基準器の値に対して
(*2) 各測定レンジにおいてフルスケールの5%以上の光量が入射した場合、ゼロ補正使用時
(*3) 防熱カバーなし